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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
這款全自動微形狀測量機具有出色的精度、穩(wěn)定性和功能性，是測量 FPD 基板、晶圓、KOSAKA小坂探針式輪廓儀ET4000A臺階儀國內(nèi)總代硬盤等的精細(xì)形狀、階差、粗糙度等的理想選擇。 此外，您可以從多種型號中進行選擇，以滿足您的應(yīng)用需求。
ET4000A??多功能全自動微形測量機
ET4000L?可處理大尺寸的全自動微形測量機
ET4000M???合理、高性能的通用微形測量機
詳情介紹：
KOSAKA小坂探針式輪廓儀ET4000A臺階儀國內(nèi)總代
這款全自動微形狀測量機具有出色的精度、穩(wěn)定性和功能性，是測量 FPD 基板、晶圓、硬盤等的精細(xì)形狀、階差、粗糙度等的理想選擇。 此外，您可以從多種型號中進行選擇，以滿足您的應(yīng)用需求。
- ET4000A??多功能全自動微形測量機
- ET4000L?可處理大尺寸的全自動微形測量機
- ET4000M???合理、高性能的通用微形測量機
| *大樣本量 | 210×210毫米、300×400毫米 |
|---|---|
| 再現(xiàn)性 | 1σ 0.5nm以內(nèi) |
| 測量范圍 | Z軸：100微米 X：100毫米（Y軸行程：150~400毫米） |
| 分辨率 | Z軸：0.1納米 X：0.01微米 |
| 測量力 | 0.5μN~500μN |
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