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產品名稱：小坂臺階儀膜厚儀探針接觸式ET200A-3D
產品型號： ET200A-3D
產品廠商：KOSAKA小坂臺階儀
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簡單介紹：

小坂臺階儀膜厚儀探針接觸式ET200A-3D國內總代它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇，可實現高精度，高分辨率和出色的穩定性，并且還支持測量力小的軟樣品表面。 ET200A：表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇 ET200A-D：配備電動Y軸單元 ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇

詳情介紹：

小坂臺階儀膜厚儀探針接觸式ET200A-3D國內總代

設備特點：

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系統為多種不同表面提供**的形貌分析，包括

半導體硅片、太陽能基板、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫學器件、

薄膜/化學涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現高

精度表面形貌分析應用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨

損度、薄膜應力等多種表面形貌技術參數。

ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色

CCD 原位采集設計，可直接觀察到探針工作時的狀態，更方便準確的定位測試區域。

它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇，可實現高精度，高分辨率和出色的穩定性，并且還支持測量力小的軟樣品表面。

ET200A：表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
ET200A-D：配備電動Y軸單元
ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇

*大樣本量	Φ160×厚度52毫米
再現性	1σ 0.3nm以內
測量范圍	Z軸：600微米 X：100毫米
分辨率	Z軸：0.1納米 X：0.1微米
測量力	10μN~500μN

規格

一、樣品臺：

1. 樣品臺尺寸：φ160mm

2. 大工件尺寸：φ200mm

3. 大工件厚度：52mm

4. 大工件重量：2kg

5. 傾斜調整范圍：±2°(±5mm/160mm)

6. 樣品臺材質：黑色硬質鋁

7. 手動旋轉：360°(手動粗調)、±5°(微調，小約0.5°)

二、傳感器（pick up）：

1. 原理：直動式傳感器（業界**）

2. Z方向測定范圍：Max. 600μm

3. Z方向小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率時)

4. 測定力： 10uN ~500uN

5. 觸針半徑：2 μm 60° 鉆石針頭（另有多種可選）

6. 驅動方式：直動式

7. 再現性：1σ= 0.2nm (1um以下臺階時)

三、X 軸 (基準軸/測量軸)：

1. 移動量(大測長)：100mm (±50mm)

2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)

3. 移動,測定速度：0.005~20mm/s

4. 線性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm

5. 位置重復誤差：±5um

四、Z軸：1. 移動量：54mm

2. 移動速度：max.2.0mm/S

3. 檢出器自動停止機能

六、Y軸：（手動定位用）

1. 移動量：25mm（±12.5mm）

七、工件觀察：

1. 彩色1/3”CCD，x4物鏡倍率

2. 綜合倍率：約320倍 (使用19” monitor時)

3. 視野：1.2*0.9mm

4. 觀察方向：右側斜視

5. 照明：白色LED（可使用軟件調整明暗度）

八、軟件功能簡介：

1. 型號：i-STAR31

2. 可設定測量條件菜單、重復測量設定、解析菜單

3. 可設定下針座標，實現定位后自動測量及解析功能

4. 可設定低通濾波，過濾噪音及雜訊

5. 具有返回測量啟始點功能

6. 顯示倍率：垂直方向50~2,000,000倍、縱方向1~10,000倍

7. 解析功能：主要圖型、段差解析、粗糙度解析、內應力分析、內建多種段差解析菜單可

選

九、床臺：一體花崗巖

十、防振臺(選購)：落地型或桌上型

十一、電源：AC220V±10%，50/60HZ，300VA

十二、本體外觀尺寸及重量：

W500×D440×H610mm, 120kg，一體花崗巖低重心結構

(不含防震臺)

Kosaka小坂ET200A粗糙度三維6寸臺階儀總代

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產品名稱：小坂臺階儀膜厚儀探針接觸式ET200A-3D