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產品詳情

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產品名稱：代理銷售MIKASA旋轉涂層機MS-B200
產品型號：MIKASA 旋轉涂層機MS-B200
產品廠商：MIKASA旋轉涂布機
產品價格：0
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簡單介紹：

由于旋涂機應用機（MIKASA）的產品由于使用交流伺服電機而無刷，因此在潔凈室中的污染性非常出色，并且通過減少電機的發熱，在連續使用過程中很難因溫度升高而影響薄膜厚度的再現性。

詳情介紹：

產品規格

*大電路板尺寸 φ8英寸晶圓或150×150mm基板

速度（轉/分） 20~5，000

旋轉精度 ±1轉/分（負載時）

發動機交流伺服電機

蓋聚碳酸酯

旋轉室直徑 φ360毫米

步進模式數 100 步× 10 種模式

時間設置 999.9秒

**聯鎖真空標配設備蓋標配設備

滴水裝置選擇

使用的真空壓力 -0.08~-0.1兆帕

權力交流100~240V 5A

外部尺寸（毫米） 500W×335H×583D

重量 28公斤

* 規格如有更改，恕不另行通知。

支持的選項

<定制類型> <兼容型號>

?自動滴水裝置（氣動型） 1 臂 ○

2 臂 ○

?自動滴水裝置（支架式） ○

?漱邊 ○

?背部沖洗 ○

?排氣管 ○

?廢液排放 ○

?鄰苯二甲酰亞胺開關 ○

?特氟龍涂層 ○

?增加電機余熱風扇 ○

?急停開關 ○

?大功率電機

<定制類型>	<兼容型號>
?自動滴水裝置（氣動型）	1 臂	○
2 臂	○
?自動滴水裝置（支架式）		○
?漱邊		○
?背部沖洗		○
?排氣管		○
?廢液排放		○
?鄰苯二甲酰亞胺開關		○
?特氟龍涂層		○
?增加電機余熱風扇		○
?急停開關		○
?大功率電機

選型支持技術服務售后安裝調試維修

蘇州代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B200

南京代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B200

常州代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B200

上海代理MIKASA 旋轉涂層機MS-B200

武漢、長沙、合肥、杭州、貴陽、蕪湖、福建、廣州、深圳、北京、成都、重慶

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蘇公網安備 32050502000409號

*大電路板尺寸	φ8英寸晶圓或150×150mm基板
速度（轉/分）	20~5，000
旋轉精度	±1轉/分（負載時）
發動機	交流伺服電機
蓋	聚碳酸酯
旋轉室直徑	φ360毫米
步進模式數	100 步× 10 種模式
時間設置	999.9秒
**聯鎖	真空標配設備蓋標配設備
滴水裝置	選擇
使用的真空壓力	-0.08~-0.1兆帕
權力	交流100~240V 5A
外部尺寸（毫米）	500W×335H×583D
重量	28公斤

產品名稱：代理銷售MIKASA旋轉涂層機MS-B200

產品規格

支持的選項

選型支持 技術服務 售后安裝調試維修

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