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代理日本品牌：OTSUKA大塚電子（薄膜測厚儀、相位差膜設(shè)備等）、USHIO牛尾點(diǎn)光源、CCS檢查光源、Aitec艾泰克、REVOX萊寶克斯、ONOSOKKI小野測器、YAMATO雅馬拓、KOSAKA小坂臺(tái)階儀、SEN特殊光源、TSUBOSAKA壺坂電機(jī)、NEWKON新光、TOKISANGYO東機(jī)產(chǎn)業(yè)、tokyokeiso東京計(jì)裝、leimac雷馬克、MIKASA米卡薩勻膠機(jī)、COSMO科斯莫、SAKURAI櫻井無塵紙、TOE東京光電子、EYE巖崎UV燈管、SANKO山高、HOYA豪雅光源、日本IMV愛睦威地震儀、HOKUYO北陽電機(jī)、SAKAGUCHI坂口電熱、ThreeBond三鍵膠水等.
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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
使用交流伺服電機(jī)，因此無刷，因此在潔凈室中污染良好，通過降低電機(jī)的發(fā)熱，在連續(xù)使用時(shí)，由于溫度升高，薄膜厚度再現(xiàn)性也難以受到影響。
詳情介紹：
產(chǎn)品規(guī)格
| *大電路板尺寸 | φ6英寸晶圓或100×100mm基板 |
| 轉(zhuǎn)速（rpm） | 20～7,000 |
| 旋轉(zhuǎn)精度 | ±1rpm（負(fù)載時(shí)） |
| 電機(jī) | 交流伺服電機(jī) |
| 蓋 | 丙烯酸 |
| 旋轉(zhuǎn)室內(nèi)徑 | φ290mm |
| 步驟模式數(shù) | 100 步× 10 模式 |
| 時(shí)間設(shè)置 | 999.9sec |
| **聯(lián)鎖 |
真空標(biāo)準(zhǔn)蓋 選項(xiàng) |
| 滴落設(shè)備 | 選項(xiàng) |
| 使用真空壓力 | -0.08～-0.1MPa |
| 電源 | AC100～240V 5A |
| 外形尺寸（mm） | 352W×303H×432D |
| 重量 | 16kg |
* 規(guī)格如有更改，恕不另行通知。
支持選項(xiàng)
| <定制類型> | >支持<的型號(hào) | |
|---|---|---|
| 自動(dòng)滴落裝置（空氣驅(qū)動(dòng)） | 1 臂 | ○ |
| 2 臂 | ○ | |
| 自動(dòng)滴落裝置（支架類型） | ○ | |
| 邊緣沖洗 | ○ | |
| 反向沖洗 | ○ | |
| 排氣管 | ○ | |
| 廢液排放 | ○ | |
| 蓋子限位開關(guān) | ○ | |
| 特氟龍涂層加工 | ○ | |
| 添加電機(jī)廢熱風(fēng)扇 | ○ | |
| 緊急停止開關(guān) | ○ | |
| 大功率電機(jī) | ||
對準(zhǔn)曝光機(jī)
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）
顯影刻蝕裝置
AD-1200
AD-3000
ED-1200
ED-3000
MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、
旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)
MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）
顯影刻蝕裝置
AD-1200
AD-3000
ED-1200
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