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產品名稱：蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP160
產品型號： AP160
產品廠商：ACE大流量計
產品價格：0
折扣價格：0
產品文檔：

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簡單介紹：

AP160Mは半導體製造プロセス等で使用されるガスに対応し、比例ソレノイドバルブの開度を自動制御することによって、配管內の圧力を自動調整するコントローラです。圧力センサを內蔵しているので、外部にセンサを追加する必要はありません。*大制御圧力は650kPa程度で、*大制御流量は100kPa差圧で500cc／分と3000cc／分の2種接があります。AP160Mモデルは比例ソレノイドバルブをパルス幅変調により制御することによって、応答性を良くし且つヒステリシスを無くすことができるので、1秒程度で設定圧力に達します。圧力ロ継手は1／4"VCR相當品で、接ガス部や圧力センサは全てメタル製になっており、半導體プロセスガスのほか、不活性ガス、腐食性ガス、危険ガス等全てのガスに対応可能です。

詳情介紹：

型式 AP160M
主な用途半導體用
対象ガス半導體プロセスガス席食性ガス
入口圧力 500kPa以下
耐圧 1000kPa未満
圧力設定コンピューター等から圧力設定入力必要
制御方式比例ソレノイドパルプ制卸
制御圧力 0～500kPa
*大流量差圧100kPaのとき500cc/分および3000cc/分の2種
応答時間設定値到達まで1秒
入力信號 05VDC　Cont/Close
R485
外部センサ入力（420A　可）
出力信號アラーム出力RS485.0～5VDC
継手 1/4〃VCR相當品
シートリーク 10-6Pa?m3/秒以下
精度 ±5kPa（800kPaFS時）
電源電圧 24VDC±10％
消費電流 200mA　Max．
使用溫度 0～50℃結露なきこと
面間外形寸法 W36×D46×H60mm
圧力センサ有り（內蔵）
表示設定器裝備せず

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蘇公網安備 32050502000409號

產品名稱：蘇州塔瑪薩崎售日本ACE追小壓力計AP160